真空爐的真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關(guān)鍵，真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否，將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。如何解決真空爐的的漏氣問(wèn)題是大家都比較關(guān)心的問(wèn)題。
研博爐業(yè)通過(guò)從真空爐爐體設(shè)計(jì)、密封類(lèi)型、密封材料、密封結(jié)構(gòu)等方面入手以使真空爐達(dá)到更高的真空爐更小的漏氣率。首先就是盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角。其次抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，都利用圓弧過(guò)渡，使氣路暢通無(wú)阻。真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu)都經(jīng)過(guò)精密設(shè)計(jì)，使氣路暢通，避免氣路堵塞。表面越光亮就越不易氣體吸附，為了更好的獲得真空度真空系統(tǒng)內(nèi)表面都經(jīng)過(guò)打磨拋光。最好以下三個(gè)方面的選擇可解決真空爐的漏氣難題
一、密封類(lèi)型的選擇
真空爐密封類(lèi)型可根據(jù)用戶所需真空度的高低及實(shí)際工作需要選擇密封類(lèi)型，對(duì)于人工晶體生長(zhǎng)設(shè)備，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，無(wú)需利用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉(zhuǎn)動(dòng)密封，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進(jìn)行移動(dòng)密封，小直徑軸的旋轉(zhuǎn)密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則利用“0”型密封圈密封類(lèi)型，直徑壓縮比為25％。
二、密封件材質(zhì)的選用
真空爐真空度在lO-3Pa以下的真空系統(tǒng)，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足需求。但是，考慮到實(shí)際工作條件的需要(真空室內(nèi)溫度最高可達(dá)2300oC，密封部位進(jìn)行水冷后，其溫度在80oC左右，個(gè)別處溫度可達(dá)100oC以上)。因此，要選擇比較理想的密封圈材料。用于真空密封橡膠材料，除需求具有光潔表面、無(wú)劃傷、無(wú)裂紋外，還需求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時(shí)要有一定的強(qiáng)度、硬度和彈性等。
三、密封結(jié)構(gòu)的選擇：
真空爐的真空系統(tǒng)中，80%以上的密封為靜密封，靜密封效果的好壞，對(duì)系統(tǒng)的真空度及漏氣率有很大的影響。因此，真空爐設(shè)備的密封結(jié)構(gòu)都進(jìn)行認(rèn)真設(shè)計(jì)，以達(dá)到理想的效果。對(duì)密封結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，重點(diǎn)考慮如何選擇重點(diǎn)密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發(fā)揮橡膠密封圈功能等方面。
以上就是研博爐業(yè)總結(jié)的真空爐漏氣問(wèn)題的解決方案，防患于未然是最好的解決問(wèn)題的方案，在真空爐工作過(guò)程中再出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象就不是小問(wèn)題了，甚至給用戶帶來(lái)重大損失。所以用戶選擇真空爐設(shè)備時(shí)一定要選擇可靠的廠家，從源頭上杜絕問(wèn)題，才是明智的選擇。
